業績一覧

シリカ膜チーム

対向拡散CVD法によるシリカ膜の開発

対向拡散CVD(Chemical vapor deposition)法を用いて、ガス分離用シリカ膜の開発を行っています。この手法には高品質のシリカ膜が高い再現性で得られる特長を有しています。また、得られたシリカ膜を用いてメンブレンリアクター(膜反応器)の実用化に向けた開発を進めています。