事業内容

　昨今、ヘリウムガスの価格高騰、調達困難が世界的に大きな問題となっており、将来的な日本へのヘリウム安定供給を目指して、海外の窒素主体の不燃性ガス田のヘリウム権益を獲得すべく、競争力強化のためセラミックの特性を活かしたヘリウム分離膜を開発します。　

　RITEでは他の無機系分離膜と比較して小分子の透過性に優れると考えられるシリカ膜をモデル材料とし、実用化に向けて検証の必須な要素技術である長尺・大面積化技術を開発します。

　最初に有効膜長さ200mmのシリカ膜を製膜し、得られた膜のヘリウム透過率、ヘリウム／窒素選択性を評価することで、対向拡散CVD法による長尺シリカ膜製膜の課題を抽出します。抽出された課題を基に、500mm長のシリカ膜製膜条件を精査し、最終目標である有効膜長さ500mmのシリカ膜の製膜条件を確立します。